Keramiska substrat av kiselnitrid (Si₃N₄) används i allt större utsträckning i EV, IGBT, SiC kraftmoduler och energilagringssystem på grund av deras utmärkta värmechockbeständighet och mekaniska styrka.
Traditionell tillverkning kräver vanligtvis separata maskiner för borrning, ritsning och konturskärning, vilket leder till upprepad hantering, flera uppriktningar och högre produktionskostnader.
Vår integrerade laserbehandlingsplattform slutför dessa operationer i en enda installation, vilket minskar hanteringen, förbättrar positionsnoggrannheten och förenklar produktionen.
En plattform, flera processer
Efter en-gångs vakuumklämning och CCD-inriktning kan maskinen automatiskt utföra:
›››Laserborrning
›››Laserritning
›››Konturskärning
Att använda ett koordinatsystem genom hela processen minimerar uppriktningsfel och minskar risken för flisning eller dolda sprickor orsakade av upprepad hantering.
Två laseralternativ
150W QCW fiberlaser
Idealisk för:
›››Konturskärning
›››Panelseparering
›››Gräffning
››› Medium-tjocklek Si₃N₄-substrat (0,4–1,2 mm)
Fördelar
›››Ingen kolbeläggning krävs
›››Hög skäreffektivitet
›››Optimerad skiktad skärning för att minska termisk stress
355nm UV Nanosekundlaser
Idealisk för:
›››Precisionsmikroborrning
›››Fin skrift
›››Tunna underlag (0,1–0,8 mm)
››› Keramiska förpackningar med hög-densitet
Fördelar
›››Liten värme-påverkad zon
›››Släta hålväggar
›››Bättre kantkvalitet
›››Högre precision för mikrofunktioner
Valfri automation
Automatisk lastning och lossning finns som tillval.
Kunder kan välja manuell laddning för prototypframställning eller lägga till en automationsmodul för hög-volym, 24/7 produktion med:
›››Multi-magasin
›››Vakuumhantering
›››Automatisk insamling
›››MES-anslutning
Designad för Silicon Nitride
För att minska termisk spänning under bearbetning inkluderar systemet:
›››Vakuumchuck
›››Högt-kvävestöd
›››Vatten-kylt arbetsbord
›››Bearbetningsstrategi för lager-för-lager
Dessa funktioner hjälper till att förbättra bearbetningsstabiliteten och minska sprickbildning.
QCW Fiber vs. UV-laser
| Särdrag | QCW Fiber | 355nm UV |
| Konturskärning | ★★★★★ | ★★★☆☆ |
| Mikroborrning | ★★☆☆☆ | ★★★★★ |
| Laserritning | ★★★★★ | ★★★★★ |
| Tunna underlag | ★★★☆☆ | ★★★★★ |
| Bäst för | Hög-skärning | Hög-bearbetning |
Ansökningar
Plattformen är lämplig för:
›››Kiselnitrid (Si₃N₄)
›››Aluminiumoxid (Al₂O₃)
›››Aluminiumnitrid (AlN)
Typiska tillämpningar inkluderar IGBT-moduler, SiC-kraftenheter, EV-elektronik, energilagringssystem, industriella kraftmoduler och RF-keramiska paket.
Slutsats
Med borrning, ritsning och skärning i en enda installation förenklar den integrerade laserplattformen tillverkningen av kiselnitrid samtidigt som den förbättrar noggrannheten och minskar hanteringen.
Finns med antingen a150W QCW fiberlasereller a355nm UV nanosekundlaserger den en praktisk lösning för både-volymproduktion och precision av keramisk bearbetning.(Gratis provtestning är tillgänglig. Förfrågningar är välkomna.)
